可用于锂电池材料表面的原子级包覆,提升电池稳定性与寿命;可用于高端手机、车载镜头的增透减反镀膜,优化成像品质这款性能神奇的产品名为ALD(原子层沉积)前驱体材料。尤其在高端先进制程芯片的制造环节,它更是扮演着关键角色能为极其精密的芯片结构以及OLED器件穿上无缝的原子级“防护衣”。这种材料足够“活泼”,能精准发生表面化学反应;又足够“克制”,仅在单原子层反应后便自动停止,堪称一种可根据光刻工艺需求“被精确设计”的分子。目前,泰州源展半导体前驱体材料项目试产出的产品,已通过多家头部企业的工艺验证并实现批量供货,正助力打破该领域的进口依赖。
“由于先进制程对于前驱体材料的纯度和工艺适配性要求极高,长期以来,高端前驱体产品被国外企业垄断。米乐M6官网登录入口2021年、2023年,工信部发布《重点新材料首批次应用示范指导目录》,将ALD前驱体材料定位为电子信息关键战略材料。”国家级领军人才、泰州源展半导体前驱体材料项目(以下简称泰州源展)负责人徐彪介绍,2024年,泰州源展落户泰兴经济开发区,项目工艺为国内首套。项目建成后,将填补国内高端ALD前驱体材料领域空白,破解芯片关键材料“卡脖子”难题。
锚定打造国内领先的高纯电子材料研发生产基地这一目标定位,泰州源展项目将分期建设、梯次投产。一期用地56.6亩、投资5.1亿元;二期用地43.4亩、投资15亿元。项目聚焦铪、锆、锡系列高端半导体材料生产,从生产车间到环保处理、研发检测,全链条配套设施一应俱全。建成后,将年产93.6吨半导体前驱体材料。
据介绍,ALD前驱体之所以被认为是“卡脖子”环节,主要体现于技术门槛高、工艺耦合性强、专利与技术壁垒明显、供应链要求严格等方面。就技术门槛而言,产品需兼顾挥发性、热稳定性和反应选择性,涉及复杂的有机金属化学体系,国内缺少相关的技术储备;在供应链方面,晶圆制造企业对材料纯度、一致性及批次稳定性要求极高,验证周期较长。
“因此,该领域的国产化不仅是材料研发问题,更是涉及材料-工艺-设备协同发展的系统工程。”公司创始人奚斌说,围绕这一领域的关键需求,公司通过持续技术攻关,逐步构建起覆盖分子设计、合成制备、高纯化处理及分析检测的技术体系。公司研发团队汇聚名校人才,拥有国家级创新力量,已攻克百余款前驱体材料技术,实现技术自主可控。“目前,部分产品已通过国内外重点晶圆、高端光学、钙钛矿光伏等制造企业工艺验证,进入批量供货阶段。”
“作为国内首套解决卡脖子问题的ALD前驱体材料工艺项目,泰州源展不仅是泰兴先进制造集群化发展的重要支撑,更是聚焦战略性新兴产业、强链补链延链的关键举措,为信息经济高质量发展筑牢材料根基。”泰兴市发改委服务业发展中心副主任叶灶琴介绍,项目全面建成后,将提升关键电子化学品自主保障和原创研发能力,填补国内高端ALD前驱体产业化能力不足的短板,为我国集成电路产业自主可控贡献力量。
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